本帖最后由小唏于2017-2-709:29編輯
無線傳感器網絡使半導體晶圓制造廠保持高效率運行
問題
對半導體晶圓制造至關重要的是細致、準確地沉積多層化學材料,以形成數(shù)千、數(shù)百萬甚至在有些情況下是數(shù)10億個晶體管,構成各種各樣復雜的集成電路(IC)。
在制造這些IC的過程中,每一步都要精確計量不同的化學氣體,而氣體使用量差異會很大,這是由不同的工藝所決定。
在大多數(shù)情況下,這些步驟是高度自動化的。
有趣的是,尚未自動化的竟然是一個非常簡單的步驟,這就是“保持氣體充足供應”。
在凌力爾特公司位于美國加利福尼亞州圣何塞附近的硅谷制造廠中,用于晶圓制造的專用氣罐超過175個。
這些氣罐受到了密切監(jiān)視,以確保不中斷供氣。
供氣意外中斷會導致價值數(shù)10萬美元的晶圓報廢、損失收入并使產品交付出現(xiàn)不可接受的延遲。
為了避免停機,技術人員每天3次手工記錄工廠中每個氣罐的壓力。
這種手工流程容易出現(xiàn)人為差錯,維護成本也很高。
以前使用這種手工數(shù)據(jù)記錄方法是因為人們認為通信系統(tǒng)配線很昂貴,在工廠中使用是不現(xiàn)實的。
氣罐在工廠中到處都是,而且大多數(shù)氣罐附近都沒有AC電源插座或以太網插口。
出于安全和抗震原因,用混凝土墻建造了這座工廠,因此安裝新導線成本之高令人望而卻步。
此外,供電及通信線路安裝這種大型項目也會中斷制造過程,會要求工廠停工。
圖1:提高制造效率─半導體公司利用實時監(jiān)視,竭力提高制造過程的效率。
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